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SF6氣體含有水分造成三大危害：

1.水分引起化學(xué)腐蝕，干燥SF6氣體化學(xué)特性穩(wěn)定，溫度低于500℃時(shí)不分解，但當(dāng)水分較多時(shí)、200℃以上就可能水解。

2SF6+bH2o→2SO2+12HF+O2；HF具有很強(qiáng)腐蝕性，對生物機(jī)體腐蝕的劇毒物SO2與H2O反應(yīng)生成硫酸也有腐蝕性。尤其滅弧過程中，高溫下更生成許多硫化物、氟化物均有毒、有腐蝕性。水分較高情況下，滅弧生成WO3、CuF2、WO3F4粉狀物均具有腐蝕性。

RTWS-142 精密SF6露點(diǎn)分析儀

2.在有較多水分下電解弧作用下的生成物影響SF6純度，減小SF6氣體介質(zhì)復(fù)原數(shù)量，阻礙分解物還原，滅弧性能下降。

3.對絕緣危害：水分在低溫下結(jié)成霧，附在絕緣表面引起沿面放電。一些腐蝕性強(qiáng)的氣體，金屬蒸汽與絕緣體如瓷絕緣子SiO2(石英粉)等反應(yīng)，不但腐蝕其表面，且生產(chǎn)水4HF+SiO2→SiF4+2H2O，因而，對絕緣造成極大危害。所以要嚴(yán)格控制SF6氣體含水量。